光譜橢偏儀的特點：

無損、非接觸，無需制樣，不損傷薄膜，樣品可回收；

超高薄膜靈敏度，量程極寬：0.1nm ~ 數十微米，超薄氧化層、厚聚合物膜均可測；

寬光譜覆蓋，同時獲得多波長光學常數；

可測多層膜、梯度膜、表面粗糙度、帶隙、組分、結晶度；支持Mapping面掃描，獲得膜厚分布；

可搭配高低溫樣品臺，做原位薄膜生長、動態吸附監測。

常見故障與解決方法：

‌測量數據重復性差、同一樣品多次測量偏差大‌：樣品臺定位偏移、光路鏡片表面積塵，重新校準樣品臺定位精度，用無塵棉蘸取無水乙醇清潔光路鏡片表面，即可恢復測量重復性。

‌光源強度不足、信號信噪比大幅下降‌：氙燈/鹵鎢燈使用壽命到期光強衰減，更換同規格原裝光源，重新完成系統光強校準，即可恢復信號強度。

‌模型擬合殘差過大、反演結果不合理‌：光學模型構建錯誤，儀器不同型號的詳細選型參數對比表嗎？幫你快速匹配對應薄膜表征場景的適配機型。遺漏了表面粗糙度層或中間過渡層，重新優化樣品光學結構模型，補充對應色散模型參數，即可將擬合殘差降至合理范圍。